반도체 분야 설계자라면, 자주 궁굼해 지는 사양중에 하나가 바로 Wafer의 사양이다.
직경은 대부분 쉽게 알 수 있다. 호칭이 직경이니까.
그런데, Wafer를 핸들링 해야 하는 구조를 설계해야 하는 설계자라면 반드시 정확히 알아야 한다.
확인 해 두고, 개별적으로 취해 두도록 하자.
Wafer Size |
Diameter |
Thickness |
Primary Flat Length |
Secondary Flat Length |
Secondary Flat Location |
2inch Wafer (1.32g) |
2" ±0.015 |
0.011" ±0.001 |
0.625" ±0.065 |
0.315" ±0.065 |
90˚ ±5 CW from Primary Flat |
50.8mm ±0.38 |
0.279 ±0.0025 |
15.88mm ±1.65 |
8mm ±1.165 |
||
3inch Wafer (4.05g) |
3" ±0.025 |
0.015" ±0.001 |
0.875" ±0.125 |
0.44" ±0.06 |
|
76.2mm ±0.63 |
0.381mm ±0.0025 |
22.22mm ±3.17 |
11.18mm ±1.52 |
||
100mm Wafer (9.67g) |
100mm ±0.5 |
0.525mm
±0.020 or |
32.5mm ±2.5 |
18mm ±2.0 |
|
125mm Wafer (11.87g) |
125mm ±0.5 |
0.625mm ±0.020 |
42.5mm ±2.5 |
27.5mm ±2.5 |
|
150mm Wafer (27.82g) |
150mm ±0.2 |
0.675mm
±0.020 or |
57.5mm ±2.5 |
37.5mm ±2.5 |
|
200mm Wafer (52.98g) |
200mm ±0.2 |
0.725mm ±0.020 |
Notch |
N/A |
|
300mm Wafer (127.62g) |
300mm ±0.2 |
0775mm ±0.020 |
Notch |
N/A |
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