Wafer Size & weight - SEMI STANDARD

반도체 분야 설계자라면, 자주 궁굼해 지는 사양중에 하나가 바로 Wafer의 사양이다.

직경은 대부분 쉽게 알 수 있다. 호칭이 직경이니까.

그런데, Wafer를 핸들링 해야 하는 구조를 설계해야 하는 설계자라면 반드시 정확히 알아야 한다.

확인 해 두고, 개별적으로 취해 두도록 하자.

Wafer Size	Diameter	Thickness	Primary Flat Length	Secondary Flat Length	Secondary Flat Location
2inch Wafer (1.32g)	2" ±0.015	0.011" ±0.001	0.625" ±0.065	0.315" ±0.065	90˚ ±5 CW from Primary Flat 45˚ ±5 CW from Primary Flat 180˚ ±5 CW from Primary Flat
	50.8mm ±0.38	0.279 ±0.0025	15.88mm ±1.65	8mm ±1.165
3inch Wafer (4.05g)	3" ±0.025	0.015" ±0.001	0.875" ±0.125	0.44" ±0.06
	76.2mm ±0.63	0.381mm ±0.0025	22.22mm ±3.17	11.18mm ±1.52
100mm Wafer (9.67g)	100mm ±0.5	0.525mm ±0.020  or 0.625mm ±0.020	32.5mm ±2.5	18mm ±2.0
125mm Wafer (11.87g)	125mm ±0.5	0.625mm ±0.020	42.5mm ±2.5	27.5mm ±2.5
150mm Wafer (27.82g)	150mm ±0.2	0.675mm ±0.020 or 0.625mm ±0.015	57.5mm ±2.5	37.5mm ±2.5
200mm Wafer (52.98g)	200mm ±0.2	0.725mm ±0.020	Notch	N/A
300mm Wafer (127.62g)	300mm ±0.2	0775mm ±0.020	Notch	N/A

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